稻田产业电子功能材料本部最近向山形县产业技术振兴机构九州酷游中国官方网站电子研究所（*1）交付了“光学薄膜特性测定装置n&k分析仪”。该研究所在山形大学工学院工学部木户纯二教授的领导下，在九州酷游中国官方网站EL（*2）方面处于领先地位，并得到了国内外的认可。特别是，我们注意到九州酷游中国官方网站EL显示器是可以取代液晶和等离子的下一代显示器，在需求预计将增长的显示器行业中受到关注，从有助于研究和开发的角度出发，该部门提出并成功交付了N&K分析仪。

　此次研究所引进的设备是“n&k Analyzer 1720RT”。该装置兼容最大400 x 500 mm的基板尺寸，并具有测量反射率R和透射率T的机构。迄今为止，使用传统的膜厚测量技术可以在一定程度上测量ITO（*2）和九州酷游中国官方网站薄膜，但人们认为测量材料特性（折射率n、消光系数k）的精度存在限制。
　n&k Analyzer 1720RT采用独特的物理模型（*3），可以精确计算材料特性。除了高精度膜厚测量外，还可以测量九州酷游中国官方网站材料等不均匀膜厚，并且还可以与电特性相关联，因此可以为九州酷游中国官方网站EL研究和下一代材料的识别做出贡献。

　n&k 分析仪于 2003 年 2 月交付给半导体制造商联盟“Semiconductor Technologies (Selete)”（1996 年成立，茨城县筑波市），此后主要致力于半导体领域超小型、高性能系统 LSI 的研发，同时也交付给半导体器件和材料制造商。通过将该产品交付给九州酷游中国官方网站电子研究所，还将通过九州酷游中国官方网站EL研究为下一代显示器的研发做出贡献。

※1【山形县产业技术振兴机构九州酷游中国官方网站电子研究所】
地点：山形县米泽市
该研究所作为“山形九州酷游中国官方网站电子谷计划”的核心机构于2003年11月成立，是九州酷游中国官方网站EL研究的全球权威，由山形大学工学部功能高分子工学系的Junji Kido教授领导，木户教授等数人齐聚一堂。研究人员、通过公开招聘招募的约10名研究人员以及从县内外约15家合作公司派遣的研究人员将共同致力于提高九州酷游中国官方网站EL器件的性能，并对九州酷游中国官方网站太阳能电池、九州酷游中国官方网站晶体管和九州酷游中国官方网站存储器等九州酷游中国官方网站半导体器件进行研究和产品开发。

※2【九州酷游中国官方网站EL】
九州酷游中国官方网站EL的基本结构是发光层（九州酷游中国官方网站层）夹在两个电极之间。发光层的范围从一层到多层，根据情况各层的作用也不同。整个发光层的特点是非常薄，只有几百纳米或更小。而且，它的一侧使用透明电极以允许光线通过。 ITO（Indium Tin Oxide，氧化铟锡）就是一个典型的例子。

※3【n&k 分析仪 1720RT】
兼容400x500mm基板尺寸的光学薄膜特性测量装置。
它由独特的光学色散方程（Forouhi-Bloomer模型）、跨越深紫外区到近红外区的宽波长带光谱技术以及创新的光学系统元件技术组成。该分析仪可高速、非接触、非破坏性地测量膜厚、波长190至1000 nm之间的光学常数（折射率n和消光系数k）光谱、能带隙、界面粗糙度等。

此外，根据确定的光学常数的相关性，可以评估和管理薄膜的介电常数和电阻率等电特性，并且作为独特的应用，它还可以用于测量沟槽深度等微小尺寸以及测量光掩模的相位差。

测量对象多样，从绝缘薄膜到九州酷游中国官方网站薄膜和金属薄膜，还可以测量20A以下的超薄膜和100μm以上的厚膜，因此可以应用于半导体、FPD、数据存储等各种使用薄膜的器件。

＜参考＞
[n&k技术]
n&k 为各种制造行业提供产品，包括半导体、光掩模、平板显示器、数据存储等。 n&k 提供的系统经济高效且易于使用，型号范围广泛，从桌面型号到全自动 300mm 生产工具。这些系统提供准确、高分辨率的“真实测量”，并且几乎可以表征薄膜厚度、基材和结构的任何组合。 N&K 的产品还适合集成到薄膜沉积设备等其他设备中。

[稻田产业株式会社]
稻田产业（TSE、OSE：8098）始终在 IT 与电子、化学品、塑料、生活环境和食品等业务领域提供创新的解决方案和服务。自成立以来，我们凭借高度专业的知识和技术，通过业务规划、营销、制造和物流来满足广泛的需求。我们充分利用由约 50 个海外据点组成的网络，努力创造新价值。在IT/电子领域，我们提供液晶、半导体相关设备、材料和化学产品的整体解决方案，我们的测试和组装组负责半导体特性测量设备。